| イオンビームスパッタリング法 | |
| Surface form | イオンビームスパッタリング法 |
| Left-context ID | 1285 |
| Right-context ID | 1285 |
| Cost | 4916 |
| POS | 名詞 |
| POS subcategory 1 | 一般 |
| POS subcategory 2 | * |
| POS subcategory 3 | * |
| Conjugation type | * |
| Conjugation form | * |
| Base form | イオンビームスパッタリング |
| Reading('Furigana') | イオンビームスパッタリング |
| Pronunciation | イオンビームスパッタリング |
| Source dictionary | Thesaurus2015 |
| ID in Source dictionary | 47018 |
| J-GLOBAL ID | 200906074643333252 |
| Headword Flag | V |
| Category code | PA08 |
| Common word flag 1 | false |
| Common word flag 2 | UNKNOWN_2 |
| IPA dictionary analysis results | イオンビームスパッタリング 法 |